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高温退火硅单晶中氧和氮杂质性质

杨德仁 阙端麟

半导体学报Issue(1)：71,1.
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半导体学报Issue(1)：71,1.

高温退火硅单晶中氧和氮杂质性质

杨德仁 1阙端麟1

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摘要

关键词

高温退火/硅/单晶硅/氧/氮/杂质/退火

分类

信息技术与安全科学

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杨德仁,阙端麟..高温退火硅单晶中氧和氮杂质性质[J].半导体学报,1996,(1):71,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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