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纳米硅薄膜界面结构的微观特征

何宇亮 褚一鸣 王中怀 刘湘娜 白春礼

半导体学报Issue(1)：71,1.
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半导体学报Issue(1)：71,1.

纳米硅薄膜界面结构的微观特征

何宇亮 1褚一鸣 1王中怀 1刘湘娜 1白春礼1

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摘要

关键词

硅薄膜/界面结构/特征/纳米硅薄膜

分类

信息技术与安全科学

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何宇亮,褚一鸣,王中怀,刘湘娜,白春礼..纳米硅薄膜界面结构的微观特征[J].半导体学报,1994,(1):71,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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