表面技术2007，Vol.36Issue(4)：7-10,4.
CVD自支撑金刚石厚膜的氧化动力学研究
The Study on the Oxidation Kinetics of CVD Free-standing Diamond Films
摘要
关键词
CVD金刚石膜/高温氧化/氧化动力学分类
矿业与冶金引用本文复制引用
刘敬明,吕反修..CVD自支撑金刚石厚膜的氧化动力学研究[J].表面技术,2007,36(4):7-10,4.基金项目
北京市自然科学基金(SZR051) （SZR051）
北京市科技新星计划资助项目(XX055). （XX055）
