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As在HgCdTe外延层中的扩散系数

徐非凡 吴俊 巫艳 陈路 于梅芳 何力

红外与毫米波学报2005,Vol.24Issue(1):7-10,4.
红外与毫米波学报2005,Vol.24Issue(1):7-10,4.

As在HgCdTe外延层中的扩散系数

DIFFUSION COEFFICIENT OF As IN HgCdTe EPILAYERS

徐非凡 1吴俊 1巫艳 1陈路 1于梅芳 1何力1

作者信息

  • 1. 中科院上海技术物理研究所,半导体材料与器件研究中心,上海,200083
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摘要

关键词

/扩散/二次离子质谱/碲镉汞/分子束外延

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

徐非凡,吴俊,巫艳,陈路,于梅芳,何力..As在HgCdTe外延层中的扩散系数[J].红外与毫米波学报,2005,24(1):7-10,4.

基金项目

中国科学院知识创新工程资助项目(KGCX2-SWJG-06) (KGCX2-SWJG-06)

红外与毫米波学报

OA北大核心CSCDSCI

1001-9014

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