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纳米电子器件及其集成

刘明 商立伟 陈宝钦 谢常青 王丛舜 龙世兵 徐秋霞 李志钢 易里成荣 涂德钰

半导体学报2006，Vol.27Issue(z1)：7-10,4.
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半导体学报2006，Vol.27Issue(z1)：7-10,4.

纳米电子器件及其集成

Nano Electrical Devices and Integration

刘明 1商立伟 1陈宝钦 1谢常青 1王丛舜 1龙世兵 1徐秋霞 1李志钢 1易里成荣 1涂德钰1

作者信息

  • 1. 中国科学院微电子研究所,纳米加工与新器件集成实验室,北京,100029
  • 折叠

摘要

关键词

自上而下的纳米加工/纳米器件/单电子器件/共振器件

分类

通用工业技术

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刘明,商立伟,陈宝钦,谢常青,王丛舜,龙世兵,徐秋霞,李志钢,易里成荣,涂德钰..纳米电子器件及其集成[J].半导体学报,2006,27(z1):7-10,4.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:60276019,90207004,60236010,60290081)和国家重点基础研究发展规划(批准号:2006CB302706)资助项目 （批准号:60276019,90207004,60236010,60290081）

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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