半导体学报2007，Vol.28Issue(5)：711-716,6.
PZT陶瓷靶材的制备及相成分分析
Preparation and Phase Analysis of PZT Ceramic Targets
摘要
关键词
PZT/固相反应/烧结/钙钛矿相/焦绿石相分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
贺鳞翔,彭刚,杨卫明,郑朝丹,于军,王耘波..PZT陶瓷靶材的制备及相成分分析[J].半导体学报,2007,28(5):711-716,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(批准号:90407023) （批准号:90407023）
