|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|光学精密工程|微结构表面形貌的测量

微结构表面形貌的测量

周明宝 林大键 郭履容 郭永康

光学精密工程1999，Vol.7Issue(3)：7-13,7.
✕
光学精密工程1999，Vol.7Issue(3)：7-13,7.

微结构表面形貌的测量

Measurement of Microstructures Topography

周明宝 1林大键 1郭履容 2郭永康2

作者信息

  • 1. 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209
  • 2. 四川联合大学物理系,成都,610041
  • 折叠

摘要

关键词

微结构/表面形貌/测量

分类

数理科学

引用本文复制引用

周明宝,林大键,郭履容,郭永康..微结构表面形貌的测量[J].光学精密工程,1999,7(3):7-13,7.

光学精密工程

OACSCD

1004-924X

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文