硅酸盐通报2007,Vol.26Issue(4):715-719,5.
溅射功率和气压对CdTe薄膜结晶性的影响
The Influence of Sputtering Power and Pressure on CdTe Film's Crystallinity
摘要
关键词
磁控溅射/CdTe薄膜/功率/气压/结晶性分类
数理科学引用本文复制引用
王国宁,杨宇,孔令德,姬荣斌,张曙..溅射功率和气压对CdTe薄膜结晶性的影响[J].硅酸盐通报,2007,26(4):715-719,5.基金项目
国家自然科学基金(No.60567001)资助项目 (No.60567001)