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溅射功率和气压对CdTe薄膜结晶性的影响

王国宁 杨宇 孔令德 姬荣斌 张曙

硅酸盐通报2007,Vol.26Issue(4):715-719,5.
硅酸盐通报2007,Vol.26Issue(4):715-719,5.

溅射功率和气压对CdTe薄膜结晶性的影响

The Influence of Sputtering Power and Pressure on CdTe Film's Crystallinity

王国宁 1杨宇 1孔令德 2姬荣斌 2张曙1

作者信息

  • 1. 云南大学材料科学与工程系,昆明,650091
  • 2. 昆明物理研究所,昆明,650223
  • 折叠

摘要

关键词

磁控溅射/CdTe薄膜/功率/气压/结晶性

分类

数理科学

引用本文复制引用

王国宁,杨宇,孔令德,姬荣斌,张曙..溅射功率和气压对CdTe薄膜结晶性的影响[J].硅酸盐通报,2007,26(4):715-719,5.

基金项目

国家自然科学基金(No.60567001)资助项目 (No.60567001)

硅酸盐通报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-1625

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