传感技术学报1996，Vol.9Issue(1)：71-74,4.
矩形硅杯绝对压力传感器的研制
Preparation of Absoulte Pressure sensor with Rectangular Si Cup
朱作云 1李跃进 1王文襄 2郭源生 2王麦广2
作者信息
- 1. 西安电子科技大学微电子研究所.西安,710071
- 2. 宝鸡秦岭晶体管厂.宝鸡,721001
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摘要
关键词
绝对压力/压力传感器/传感器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
朱作云,李跃进,王文襄,郭源生,王麦广..矩形硅杯绝对压力传感器的研制[J].传感技术学报,1996,9(1):71-74,4.
