材料工程Issue(4)：71-74,4.
多孔硅气体传感器的制备及其气敏性能的研究
Study on Fabrication of Porous Silicon Gas Sensor and Gas Sensing-characteristics
摘要
关键词
NO2气体传感器/多孔硅/灵敏度/孔隙率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李东海,胡明,孙凤云,陈鹏,孙鹏..多孔硅气体传感器的制备及其气敏性能的研究[J].材料工程,2009,(4):71-74,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(60371030,60771019) （60371030,60771019）
