材料工程Issue(11)：71-75,5.
PECVD法制备硅基ZnO薄膜光学性能的研究
Optical Property of ZnO Films Grown on Si Substrate by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
摘要
关键词
Si(111)/ZnO薄膜/等离子增强化学气相沉积/反射光谱分类
数理科学引用本文复制引用
王应民,杜楠,蔡莉,李禾,程国安..PECVD法制备硅基ZnO薄膜光学性能的研究[J].材料工程,2007,(11):71-75,5.基金项目
江西省材料中心基金(ZX200401007) （ZX200401007）
南昌航空大学博士科研启动基金(EA200601184) （EA200601184）
江西省教育厅科技项目(DB200501107)资助 （DB200501107）
