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掺铬半绝缘砷化镓材料的硅离子注入

王渭源 乔墉 林成鲁 罗潮渭 周永泉

物理学报Issue(1):71-77,7.
物理学报Issue(1):71-77,7.

掺铬半绝缘砷化镓材料的硅离子注入

王渭源 1乔墉 1林成鲁 1罗潮渭 1周永泉1

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王渭源,乔墉,林成鲁,罗潮渭,周永泉..掺铬半绝缘砷化镓材料的硅离子注入[J].物理学报,1982,(1):71-77,7.

物理学报

1000-3290

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