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磁控溅射法合成纳米β-FeSi2/a-Si多层结构

胡冰李晓娜董闯姜辛

物理学报2007，Vol.56Issue(12)：7188-7194,7.

Nano-β-FeSi2/a-Si multi-layered structure prepared by magnetron sputtering

胡冰 ¹李晓娜 ¹董闯 ¹姜辛¹

作者信息

β-FeSi2/磁控溅射/透射电子显微镜/半导体薄膜

数理科学

胡冰,李晓娜,董闯,姜辛..磁控溅射法合成纳米β-FeSi2/a-Si多层结构[J].物理学报,2007,56(12):7188-7194,7.

大连市科学技术基金(批准号:2005J22JH043) 资助的课题. （批准号:2005J22JH043）

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

ISSN：1000-3290

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