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HFCVD法制备纳米晶态SiC及其室温下的光致发光

王辉 宋航 金亿鑫 蒋红 缪国庆

发光学报2004，Vol.25Issue(6)：721-724,4.
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发光学报2004，Vol.25Issue(6)：721-724,4.

HFCVD法制备纳米晶态SiC及其室温下的光致发光

Nanocrystalline SiC Films Grown by HFCVD Method and Its Photoluminescence at Room Temperature

王辉 1宋航 1金亿鑫 1蒋红 1缪国庆1

作者信息

  • 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033
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摘要

关键词

纳米材料/碳化硅/光致发光/碳化/热丝化学气相沉积

分类

数理科学

引用本文复制引用

王辉,宋航,金亿鑫,蒋红,缪国庆..HFCVD法制备纳米晶态SiC及其室温下的光致发光[J].发光学报,2004,25(6):721-724,4.

基金项目

国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB314701) （2003CB314701）

发光学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-7032

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