光学精密工程2009，Vol.17Issue(1)：72-77,6.
大高宽比、高线密度X射线透射光栅的制作
Fabrication of high-aspect-ratio and high-density X-ray transmission grating
摘要
关键词
X射线透射光栅/电子束光刻/X射线光刻/X射线显微成像技术分类
数理科学引用本文复制引用
柳龙华,刘刚,熊瑛,黄新龙,陈洁,李文杰,田金萍,田扬超..大高宽比、高线密度X射线透射光栅的制作[J].光学精密工程,2009,17(1):72-77,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No. 10675113 （）
No. 10734070) （）
