人工晶体学报2006,Vol.35Issue(4):728-731,4.
Si基上电沉积Cu薄膜的形貌与择优取向
Morphology and Preferential Orientation of Electro-deposited Cu/Si Thin Films
摘要
关键词
Cu/电沉积/Si衬底/择优取向分类
数理科学引用本文复制引用
张雅婷,徐章程,李菲晖..Si基上电沉积Cu薄膜的形貌与择优取向[J].人工晶体学报,2006,35(4):728-731,4.基金项目
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