| 注册
首页|期刊导航|人工晶体学报|Si基上电沉积Cu薄膜的形貌与择优取向

Si基上电沉积Cu薄膜的形貌与择优取向

张雅婷 徐章程 李菲晖

人工晶体学报2006,Vol.35Issue(4):728-731,4.
人工晶体学报2006,Vol.35Issue(4):728-731,4.

Si基上电沉积Cu薄膜的形貌与择优取向

Morphology and Preferential Orientation of Electro-deposited Cu/Si Thin Films

张雅婷 1徐章程 1李菲晖2

作者信息

  • 1. 南开大学泰达应用物理学院,弱光非线性光子学材料先进技术及制备教育部重点实验室,天津,300457
  • 2. 天津大学化学化工学院,天津,300072
  • 折叠

摘要

关键词

Cu/电沉积/Si衬底/择优取向

分类

数理科学

引用本文复制引用

张雅婷,徐章程,李菲晖..Si基上电沉积Cu薄膜的形貌与择优取向[J].人工晶体学报,2006,35(4):728-731,4.

基金项目

国家自然科学基金(No.60444010,No.60506013) (No.60444010,No.60506013)

南开大学引进人才科研启动基金 ()

教育部留学回国人员科研启动基金 ()

长江学者和创新团队发展计划资助 ()

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

访问量5
|
下载量0
段落导航相关论文