强激光与粒子束2004，Vol.16Issue(6)：729-732,4.
准分子激光光束均匀性的评价指标研究
Research on evaluating norm of excimer laser beam uniformity
摘要
关键词
准分子激光/光束均匀性/加工窗口/平顶因子分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李红霞,楼祺洪,叶震寰,董景星,魏运荣,凌磊..准分子激光光束均匀性的评价指标研究[J].强激光与粒子束,2004,16(6):729-732,4.基金项目
上海市科技发展基金资助课题(021111000) （021111000）
国家863计划项目资助课题 （）
