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电子学报
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双室反应管研制多层GaAs汽相外延生长技术
双室反应管研制多层GaAs汽相外延生长技术
张德宏
陈桂章
周碧如
电子学报
Issue(4)：73,1.
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电子学报
Issue(4)
：73,1.
双室反应管研制多层GaAs汽相外延生长技术
张德宏
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张德宏,陈桂章,周碧如..双室反应管研制多层GaAs汽相外延生长技术[J].电子学报,1980,(4):73,1.
电子学报
ISSN：
0372-2112
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