材料科学与工程学报2003，Vol.21Issue(5)：731-732,2.
PLD系统中硅板加热器温度的影响因素
Influence Factors on Temperature of Silicon Heater in PLD System
彭巨擘 1张鹏翔 1陈大鹏 1张虞澜 1朱绍将 1王茺1
作者信息
- 1. 昆明理工大学光电子新材料研究所,云南,昆明,650093
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摘要
关键词
PLD/硅板加热器/衬底/真空度分类
通用工业技术引用本文复制引用
彭巨擘,张鹏翔,陈大鹏,张虞澜,朱绍将,王茺..PLD系统中硅板加热器温度的影响因素[J].材料科学与工程学报,2003,21(5):731-732,2.
