高技术通讯2008,Vol.18Issue(7):732-737,6.
基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究
A study of fuzzy theory-based time-variable multiple-objectives scheduling for semiconductor manufacturing systems
摘要
关键词
半导体晶圆制造系统(SWFS)/时变多目标(TVMO)/生产计划与调度/模糊控制分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李衍飞,江志斌,张怀..基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究[J].高技术通讯,2008,18(7):732-737,6.基金项目
国家自然科学基金(50475027)、863计划(2006AA04Z128)和博十点基金(20040248052)资助项目. (50475027)