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基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究

李衍飞 江志斌 张怀

高技术通讯2008,Vol.18Issue(7):732-737,6.
高技术通讯2008,Vol.18Issue(7):732-737,6.

基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究

A study of fuzzy theory-based time-variable multiple-objectives scheduling for semiconductor manufacturing systems

李衍飞 1江志斌 1张怀1

作者信息

  • 1. 上海交通大学工业工程与物流工程系,上海,200240
  • 折叠

摘要

关键词

半导体晶圆制造系统(SWFS)/时变多目标(TVMO)/生产计划与调度/模糊控制

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李衍飞,江志斌,张怀..基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究[J].高技术通讯,2008,18(7):732-737,6.

基金项目

国家自然科学基金(50475027)、863计划(2006AA04Z128)和博十点基金(20040248052)资助项目. (50475027)

高技术通讯

OA北大核心CSCDCSTPCD

1002-0470

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