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UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针

明平美 朱荻 胡洋洋 曾永彬

光学精密工程2007，Vol.15Issue(5)：735-740,6.
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光学精密工程2007，Vol.15Issue(5)：735-740,6.

UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针

Fabrication of nickel soft contact microprobe based on UV-LIGA

明平美 1朱荻 2胡洋洋 2曾永彬2

作者信息

  • 1. 河南理工大学,机械与动力工程学院,河南,焦作,454000
  • 2. 南京航空航天大学,江苏,南京,210016
  • 折叠

摘要

关键词

UV-LIGA/柔性接触探针/SU-8胶/光刻/电铸

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

明平美,朱荻,胡洋洋,曾永彬..UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针[J].光学精密工程,2007,15(5):735-740,6.

基金项目

江苏省自然科学基金资助项目(No.2004214) （No.2004214）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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