UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针OA北大核心CSCDCSTPCD
Fabrication of nickel soft contact microprobe based on UV-LIGA
对探针的制作方法、关键工艺环节等进行了分析与研究,给出了基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针的工艺过程,分析了制备的技术关键,试验优选了关键制备环节的工艺参数,在此基础上,制作出微型柔性镍接触探针.试验结果表明:采用工艺条件优选的UV-LIGA技术,如前烘60 ℃,120 min,90 ℃,120 min;较大曝光剂量;后烘65 ℃,10 min,95 ℃,45 min;匀胶后静置、随炉冷却和超声辅助显影等辅助措施,所制备出的柔性接触探针…查看全部>>
明平美;朱荻;胡洋洋;曾永彬
河南理工大学,机械与动力工程学院,河南,焦作,454000南京航空航天大学,江苏,南京,210016南京航空航天大学,江苏,南京,210016南京航空航天大学,江苏,南京,210016
信息技术与安全科学
UV-LIGA柔性接触探针SU-8胶光刻电铸
《光学精密工程》 2007 (5)
735-740,6
江苏省自然科学基金资助项目(No.2004214)
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