半导体学报2004，Vol.25Issue(1)：73-76,4.
多台阶介质槽隔离的SiCOI MESFET器件
A SiCOI MESFET with Multi-Step Dielectric Groove Isolation
摘要
关键词
SiCOI MESFET/多台阶介质槽隔离/击穿电压分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
龚欣,张进城,郝跃..多台阶介质槽隔离的SiCOI MESFET器件[J].半导体学报,2004,25(1):73-76,4.基金项目
国家重点基础研究发展规划资助项目(No.2002CB311904) （No.2002CB311904）
