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快速预热处理对大直径CZ-Si中FPDs及清洁区的影响

张建强 刘彩池 周旗钢 王敬 郝秋艳 孙世龙 赵丽伟 滕晓云

半导体学报2006，Vol.27Issue(1)：73-77,5.
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半导体学报2006，Vol.27Issue(1)：73-77,5.

快速预热处理对大直径CZ-Si中FPDs及清洁区的影响

Effect of Pre-Rapid Thermal Annealing on FPDs and Denuded Zones in Large-Diameter CZ-Si

张建强 1刘彩池 1周旗钢 2王敬 2郝秋艳 1孙世龙 1赵丽伟 1滕晓云1

作者信息

  • 1. 河北工业大学信息功能材料研究所,天津,300130
  • 2. 北京有色金属研究总院,北京,100088
  • 折叠

摘要

关键词

CZSi/空洞型微缺陷/流动图形缺陷/快速热处理/MDZ

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张建强,刘彩池,周旗钢,王敬,郝秋艳,孙世龙,赵丽伟,滕晓云..快速预热处理对大直径CZ-Si中FPDs及清洁区的影响[J].半导体学报,2006,27(1):73-77,5.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:60076001,50032010),天津市自然科学基金和河北省自然科学基金资助项目 （批准号:60076001,50032010）

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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