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原料对碳化硅单晶生长的影响

陈之战 施尔畏 肖兵 庄击勇

无机材料学报2003，Vol.18Issue(4)：737-743,7.
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无机材料学报2003，Vol.18Issue(4)：737-743,7.

原料对碳化硅单晶生长的影响

Effects of Raw Materials on the Growth of Silicon Carbide Single Crystal

陈之战 1施尔畏 1肖兵 1庄击勇1

作者信息

  • 1. 中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050
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摘要

关键词

碳化硅原料/碳化硅单晶/相转变/Si/C摩尔比/针孔

分类

数理科学

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陈之战,施尔畏,肖兵,庄击勇..原料对碳化硅单晶生长的影响[J].无机材料学报,2003,18(4):737-743,7.

基金项目

国家自然科学基金(50132040) （50132040）

无机材料学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-324X

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