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基于国产外延材料的SiC基AlGaN/GaN HEMT器件研制

陈晓娟 李诚瞻 刘新宇 罗卫军

电子器件2007,Vol.30Issue(3):738-740,3.
电子器件2007,Vol.30Issue(3):738-740,3.

基于国产外延材料的SiC基AlGaN/GaN HEMT器件研制

AlGaN/GaN HEMT Based on Native SiC Epitaxy Material

陈晓娟 1李诚瞻 1刘新宇 1罗卫军1

作者信息

  • 1. 中国科学院微电子研究所,北京,100029
  • 折叠

摘要

关键词

SiC/AlGaN/GaN HEMT/自热效应/外延材料

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陈晓娟,李诚瞻,刘新宇,罗卫军..基于国产外延材料的SiC基AlGaN/GaN HEMT器件研制[J].电子器件,2007,30(3):738-740,3.

基金项目

国家973计划 "新一代化合物半导体电子器件与电路研究"资助项目(2002CB311903) (2002CB311903)

中国科学院创新资助项目(KGCX2-SW-107) (KGCX2-SW-107)

电子器件

OACSTPCD

1005-9490

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