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双光栅正弦相位调制(SPM)干涉测量技术的发展与应用

赖秀娟

江西科学2008,Vol.26Issue(5):741-744,4.
江西科学2008,Vol.26Issue(5):741-744,4.

双光栅正弦相位调制(SPM)干涉测量技术的发展与应用

Application and Development of Two-Grating Sinusoidal Phase-modulation in Interferometry

赖秀娟1

作者信息

  • 1. 南昌大学机电学院,江西,南昌,330031
  • 折叠

摘要

关键词

干涉测量/双光栅正弦相位调制/表面形貌/动态测量

分类

建筑与水利

引用本文复制引用

赖秀娟..双光栅正弦相位调制(SPM)干涉测量技术的发展与应用[J].江西科学,2008,26(5):741-744,4.

江西科学

1001-3679

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