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MEMS工艺制备pH-ISFET/REFET功能膜研究

汪祖民 韩泾鸿 任振兴 杨海钢 夏善红

电子器件2007，Vol.30Issue(3)：741-744,4.
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电子器件2007，Vol.30Issue(3)：741-744,4.

MEMS工艺制备pH-ISFET/REFET功能膜研究

Development of Functional Membranes for pH-ISFET/REFET with MEMS Processes

汪祖民 1韩泾鸿 2任振兴 1杨海钢 1夏善红2

作者信息

  • 1. 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080
  • 2. 中国科学院研究生院,北京,100049
  • 折叠

摘要

关键词

离子敏场效应管/功能膜/微电子机械系统/五氧化二钽/聚四氟乙烯

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

汪祖民,韩泾鸿,任振兴,杨海钢,夏善红..MEMS工艺制备pH-ISFET/REFET功能膜研究[J].电子器件,2007,30(3):741-744,4.

基金项目

国家自然科学基金资助(90307014) （90307014）

电子器件

OACSTPCD

1005-9490

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