工业工程2007，Vol.10Issue(5)：74-77,4.
多重入晶圆制造厂整合式生产控制系统建模
Modeling the Integrated Production Control System in Wafer Fabrication
摘要
关键词
晶圆制造厂/整合式生产控制/IDEF0建模工具/Petri Net建模工具分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
郭永辉,冯媛,钱省三..多重入晶圆制造厂整合式生产控制系统建模[J].工业工程,2007,10(5):74-77,4.基金项目
高校博士点基金资助项目(20050252008) （20050252008）
上海市重点学科资助项目(T0502) （T0502）
