沈阳航空工业学院学报2008，Vol.25Issue(1)：74-79,6.
ICP中放电模式转化过程中悬浮电位变化的多样性
The diversity of floating voltage in the process of mode transition in ICP
祖新慧 1孙景超 1张俊 1李俊龙1
作者信息
- 1. 沈阳航空工业学院,辽宁,沈阳,110034
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摘要
关键词
射频感性耦合等离子体/模式转化/反馈区分类
数理科学引用本文复制引用
祖新慧,孙景超,张俊,李俊龙..ICP中放电模式转化过程中悬浮电位变化的多样性[J].沈阳航空工业学院学报,2008,25(1):74-79,6.
