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TiSi2/n+poly-Si 复合结构热处理对磷再分布及 RIE 的影响

徐秋霞 周锁京 赵玉印

半导体学报Issue(12)：749,1.
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半导体学报Issue(12)：749,1.

TiSi2/n+poly-Si 复合结构热处理对磷再分布及 RIE 的影响

徐秋霞 1周锁京 1赵玉印1

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徐秋霞,周锁京,赵玉印..TiSi2/n+poly-Si 复合结构热处理对磷再分布及 RIE 的影响[J].半导体学报,1991,(12):749,1.

半导体学报

OACSCD

1674-4926

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