无机材料学报2005，Vol.20Issue(3)：750-754,5.
衬底温度对Al+N共掺p-ZnO薄膜性能的影响
Effects of Substrate Temperature on Properties of Al+N Codoped p-type ZnO Films
摘要
关键词
p-ZnO/磁控溅射/共掺分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
曾昱嘉,叶志镇,吕建国,李丹颖,朱丽萍,赵炳辉..衬底温度对Al+N共掺p-ZnO薄膜性能的影响[J].无机材料学报,2005,20(3):750-754,5.基金项目
国家重大基础研究项目(G20000683-06) （G20000683-06）
国家自然科学基金(90201038) （90201038）
