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6H-SiC单晶表面ZnO薄膜的制备及其结构表征

孙柏 李锐鹏 赵朝阳 徐彭寿 张国斌 潘国强 陈秀芳 徐现刚

无机材料学报2008，Vol.23Issue(4)：753-757,5.
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无机材料学报2008，Vol.23Issue(4)：753-757,5.

6H-SiC单晶表面ZnO薄膜的制备及其结构表征

Preparation and Characteristic of ZnO Thin Film Grown on 6H-SiC Single Crystal Substrate

孙柏 1李锐鹏 2赵朝阳 1徐彭寿 1张国斌 1潘国强 1陈秀芳 1徐现刚3

作者信息

  • 1. 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥230029
  • 2. 中国科学院,合肥智能机械研究所,合肥230031
  • 3. 山东大学晶体材料国家重点实验室,济南250100
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摘要

关键词

脉冲激光淀积/氧化锌/碳化硅/掠入射X射线衍射

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

孙柏,李锐鹏,赵朝阳,徐彭寿,张国斌,潘国强,陈秀芳,徐现刚..6H-SiC单晶表面ZnO薄膜的制备及其结构表征[J].无机材料学报,2008,23(4):753-757,5.

基金项目

国家自然科学基金(50532070) （50532070）

无机材料学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-324X

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