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用体式显微镜研究SiC单晶中的微管缺陷

李劫 章安辉 何秀坤 曹全喜 秦涛

电子科技2009，Vol.22Issue(5)：75-77,3.
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电子科技2009，Vol.22Issue(5)：75-77,3.

用体式显微镜研究SiC单晶中的微管缺陷

Micropipe Observation in Sublimation 6H-Sic By Optical Microscopy

李劫 1章安辉 2何秀坤 2曹全喜 1秦涛1

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学技术物理学院,陕西,西安,710071
  • 2. 中国电子科技集团公司第46研究所质量检验中心,天津,300192
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摘要

关键词

KOH腐蚀/微管/SiC/计数

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李劫,章安辉,何秀坤,曹全喜,秦涛..用体式显微镜研究SiC单晶中的微管缺陷[J].电子科技,2009,22(5):75-77,3.

基金项目

国家重点基础研究发展规划资助项目(51327020102) （51327020102）

电子科技

1007-7820

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