湖南工业大学学报2008，Vol.22Issue(4)：75-78,4.
衬底温度和氧分压对ZAO薄膜结构及光学性能的影响
Effect of Substrate Temperature and Oxygen Partial Pressure to ZAO Thin Films Structure and Optical Properties
杨红 1李雪勇 2戎茂华2
作者信息
- 1. 湖南信息职业技术学院基础部,湖南,长沙,410200
- 2. 湖南工业大学,理学院,湖南,株洲,412008
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摘要
关键词
ZAO薄膜/衬底温度/氧分压/透射卒分类
数理科学引用本文复制引用
杨红,李雪勇,戎茂华..衬底温度和氧分压对ZAO薄膜结构及光学性能的影响[J].湖南工业大学学报,2008,22(4):75-78,4.
