表面技术2008，Vol.37Issue(2)：75-78,4.
溅射技术在SiC薄膜沉积中的应用和工艺研究进展
Application and Technologic Progress of Sputtering for the SiC Coating
摘要
关键词
溅射技术/SiC薄膜/进展分类
矿业与冶金引用本文复制引用
梅芳,弓满锋,李玲..溅射技术在SiC薄膜沉积中的应用和工艺研究进展[J].表面技术,2008,37(2):75-78,4.基金项目
湛江师范学院重点科研项目(L0507) （L0507）
