中国机械工程2004，Vol.15Issue(1)：75-78,4.
冷压印光刻工艺精密定位工作台的研制
High-Precision Orientation Stage for Room-Temperature Imprint Lithography
摘要
关键词
压印光刻/精密定位工作台/柔性结构/精度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
严乐,卢秉恒,丁玉成,刘红忠,李寒松..冷压印光刻工艺精密定位工作台的研制[J].中国机械工程,2004,15(1):75-78,4.基金项目
国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA420050) （2002AA420050）
国家自然科学基金资助项目(50275118) （50275118）
