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Ti薄膜与AlN陶瓷的界面反应

王佑祥 岳瑞峰 陈春华

ACTA PHYSICA SINICAIssue(1)：75-82,8.
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ACTA PHYSICA SINICAIssue(1)：75-82,8.

Ti薄膜与AlN陶瓷的界面反应

王佑祥 1岳瑞峰 1陈春华2

作者信息

  • 1. 中国科学院半导体研究所
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摘要

关键词

钛/薄膜/AIN陶瓷/电子封装/界面反应

分类

数理科学

引用本文复制引用

王佑祥,岳瑞峰,陈春华..Ti薄膜与AlN陶瓷的界面反应[J].ACTA PHYSICA SINICA,1998,(1):75-82,8.

ACTA PHYSICA SINICA

OA北大核心CSCD

1000-3290

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