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氩离子注入单晶硅表面的微观结构和微观力学性能研究

孙蓉 徐洮 寇冠涛 薛群基

无机材料学报2005，Vol.20Issue(3)：759-763,5.
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无机材料学报2005，Vol.20Issue(3)：759-763,5.

氩离子注入单晶硅表面的微观结构和微观力学性能研究

Micro-mechanical Properties and Micro-structure of Ar+ Ion Implanted Single-crystal Silicon

孙蓉 1徐洮 2寇冠涛 1薛群基1

作者信息

  • 1. 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州,730000
  • 2. 河南大学特种功能材料重点实验室,开封,475001
  • 折叠

摘要

关键词

单晶硅/氩离子注入/纳米划痕/断裂韧性

分类

化学化工

引用本文复制引用

孙蓉,徐洮,寇冠涛,薛群基..氩离子注入单晶硅表面的微观结构和微观力学性能研究[J].无机材料学报,2005,20(3):759-763,5.

基金项目

国家自然科学基金(50323007,50172052) （50323007,50172052）

中科院百人计划资助项目 （）

无机材料学报

OA北大核心CSCDSCI

1000-324X

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