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微机械电子学系统

孙彦卿 石广元

电子学报Issue(5)：76,1.
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电子学报Issue(5)：76,1.

微机械电子学系统

孙彦卿 1石广元1

作者信息

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摘要

关键词

微机械/微传感器/微执行器/微机构

分类

信息技术与安全科学

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孙彦卿,石广元..微机械电子学系统[J].电子学报,1993,(5):76,1.

电子学报

OA北大核心CSCD

0372-2112

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