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TiO2薄膜氧敏特性研究

姚红军 汪荣昌 戎瑞芬 徐飞 金海岩

半导体学报Issue(10)：761,1.
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半导体学报Issue(10)：761,1.

TiO2薄膜氧敏特性研究

姚红军 1汪荣昌 1戎瑞芬 2徐飞 2金海岩2

作者信息

  • 1. 复旦大学材料科学系
  • 折叠

摘要

关键词

二氧化钛/氧敏传感器/半导体薄膜技术

分类

信息技术与安全科学

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姚红军,汪荣昌,戎瑞芬,徐飞,金海岩..TiO2薄膜氧敏特性研究[J].半导体学报,1997,(10):761,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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