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晶体硅中氢钝化硼的机理

施天生 钟钦

半导体学报Issue(10)：763,1.
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半导体学报Issue(10)：763,1.

晶体硅中氢钝化硼的机理

施天生 1钟钦1

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摘要

关键词

钝化硼/硼/氢复合体/硅/红外光谱

分类

信息技术与安全科学

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施天生,钟钦..晶体硅中氢钝化硼的机理[J].半导体学报,1989,(10):763,1.

半导体学报

OACSCD

1674-4926

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