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Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究

秦俊岭 邵建达 易葵 周洪军 霍同林 范正修

强激光与粒子束2007，Vol.19Issue(5)：763-766,4.
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强激光与粒子束2007，Vol.19Issue(5)：763-766,4.

Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究

Interface roughness of Mo/Si soft X-ray multilayers

秦俊岭 1邵建达 2易葵 1周洪军 1霍同林 3范正修3

作者信息

  • 1. 中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800
  • 2. 中国科学院,研究生院,北京,100039
  • 3. 中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,合肥,230029
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摘要

关键词

Mo/Si多层膜/软X射线/界面粗糙度/反射率

分类

数理科学

引用本文复制引用

秦俊岭,邵建达,易葵,周洪军,霍同林,范正修..Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究[J].强激光与粒子束,2007,19(5):763-766,4.

基金项目

国家863计划项目资助课题 （）

教育部"同步辐射博士生创新中心"研究生创新基金资助课题 （）

强激光与粒子束

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-4322

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