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功能成品率估算的缺陷特征参数提取方法

郝跃 马佩军 张卫东 赵天绪

电子学报2000,Vol.28Issue(8):76-78,3.
电子学报2000,Vol.28Issue(8):76-78,3.

功能成品率估算的缺陷特征参数提取方法

The Method of Defect Model Parameter Extraction for IC Functional Yield Estimation

郝跃 1马佩军 1张卫东 1赵天绪1

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学微电子研究所,西安,710071
  • 折叠

摘要

关键词

集成电路/功能成品率/参数提取

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

郝跃,马佩军,张卫东,赵天绪..功能成品率估算的缺陷特征参数提取方法[J].电子学报,2000,28(8):76-78,3.

基金项目

国家836高科技 ()

国家科技攻关项目 ()

电子学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

0372-2112

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