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毫米波高精度制版工艺OA北大核心

Technology of Accurate Plate Making for Millimeter Wave Chip

中文摘要

本文通过在工艺实践中的经验及革新的思路,介绍了高精度制版的工艺方法.实现了利用现有设备进行毫米波基片制版,取得了较好的效益.

詹为宇

信息产业部电子第十研究所,四川,成都,610036

信息技术与安全科学

高精度制版工艺

《电讯技术》 2001 (2)

76-78,3

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