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氢气放电无窗输出型光CVD非晶、微晶硅薄膜

郭述文 朱基千 谭淞生 王渭源

半导体学报Issue(10)：769,1.
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半导体学报Issue(10)：769,1.

氢气放电无窗输出型光CVD非晶、微晶硅薄膜

郭述文 1朱基千 1谭淞生 1王渭源1

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郭述文,朱基千,谭淞生,王渭源..氢气放电无窗输出型光CVD非晶、微晶硅薄膜[J].半导体学报,1989,(10):769,1.

半导体学报

OACSCD

1674-4926

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