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MEVVA注入法合成SiC／Si异质结构的椭偏光谱研究

郭文胜 杜泉 朱丹 朱自强

四川大学学报（自然科学版）Issue(1)：77,1.
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四川大学学报（自然科学版）Issue(1)：77,1.

MEVVA注入法合成SiC／Si异质结构的椭偏光谱研究

郭文胜 1杜泉 2朱丹 3朱自强3

作者信息

  • 1. 四川大学光电系
  • 2. 四川工业学院物理教研室
  • 折叠

摘要

关键词

椭偏光谱法/碳化硅/MEVVA注入法/异质结构/硅

分类

数理科学

引用本文复制引用

郭文胜,杜泉,朱丹,朱自强..MEVVA注入法合成SiC／Si异质结构的椭偏光谱研究[J].四川大学学报（自然科学版）,1999,(1):77,1.

四川大学学报（自然科学版）

OA北大核心CSCD

0490-6756

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