无机材料学报2002，Vol.17Issue(4)：771-776,6.
Ti合金化DLC膜的结构和力学性能
Structure and Mechanical Properties of Ti Alloyed DLC Films
摘要
关键词
DLC膜/薄膜沉积/性能分析分类
数理科学引用本文复制引用
江晓红,RogachevA.V...Ti合金化DLC膜的结构和力学性能[J].无机材料学报,2002,17(4):771-776,6.基金项目
教育部国客重点实验室高访基金合作项目 （）
江苏省博士后基金 （）
国家杰出青年科学基金(29925616) （29925616）
