半导体学报2002，Vol.23Issue(7)：772-776,5.
半导体器件与工艺综合
Device and Process Synthesis of Semiconductor
鲁勇 1谢晓峰 1张文俊 1杨之廉1
作者信息
- 1. 清华大学微电子学研究所,北京,100084
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摘要
关键词
综合/器件综合/工艺综合/MOSPAD/FIB分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
鲁勇,谢晓峰,张文俊,杨之廉..半导体器件与工艺综合[J].半导体学报,2002,23(7):772-776,5.
