人工晶体学报2006，Vol.35Issue(4)：772-776,5.
低温AlN插入层降低硅基GaN膜微裂
Reduction of Cracks in GaN Film Grown on Si(111) by Low-temperature AlN Interlayer
摘要
关键词
Si(111)/GaN/AlNKey words
Si(111)/GaN/AlN分类
数理科学引用本文复制引用
冯玉春,刘晓峰,王文欣,彭冬生,郭宝平..低温AlN插入层降低硅基GaN膜微裂[J].人工晶体学报,2006,35(4):772-776,5.基金项目
广东省关键领域重点突破项目(No.ZB2003A07) （No.ZB2003A07）
深圳市科技计划项目(No.200515) （No.200515）
