强激光与粒子束2006，Vol.18Issue(5)：773-778,6.
13.9 nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜研究
Multilayer beam splitter used in a soft X-ray Mach-Zehnder interferometer at working wavelength of 13.9 nm
摘要
关键词
软X射线/分束镜/马赫贞德干涉仪/Mo/Si多层膜分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张众,王占山,王洪昌,王风丽,吴文娟,张树敏,秦树基,陈玲燕..13.9 nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜研究[J].强激光与粒子束,2006,18(5):773-778,6.基金项目
国家863计划项目资助课题 （）
教育部新世纪优秀人才支持计划资助课题 （）
